CKD减压阀结构与分类

CKD减压阀结构与分类

可与真空过滤器VFA3000或VFA4000进行模块化连接。

采用基于喷嘴挡板的先导压力控制方式。

采用禁油规格•不锈钢阀体，适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。

实施清洗（气体接触部分），在洁净室内进行从组装到包装的。

对边50mm的紧凑尺寸，并实现了0.8㎥/min的大流量。

（1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）

减压阀是通过调节，将进口压力减至某一需要的出口压力，并依靠介质本身的能量，使出口压力自动保持稳定的阀门。从流体力学的观点看，减压阀是一个局部阻力可以变化的节流元件，即通过改变节流面积，使流速及流体的动能改变，造成不同的压力损失，从而达到减压的目的。然后依靠控制与调节系统的调节，使阀后压力的波动与弹簧力相平衡，使阀后压力在一定的误差范围内保持恒定。

无润滑脂规格、紧凑、省空间型的小型直动减压阀。           

适用于需要细小工件吸附系统或检查系统等的压力调整的回路中。紧凑、大流量、真空减压阀。

同级尺寸（□50×90），同级流量 （200ℓ/min(ANR)）。

通过减压阀旋钮的顶部安装，操作性也得到了提高。设计的自由度也得到了提高。

可单手进行压力调整，一按即可锁定。压力设定时，旋钮也可轻松手动操作。

拧松面板安装用螺母后，螺母自身起到千斤顶功能，可轻松拆下旋钮。安装到面板时，可使用螺母进行固定。安装L形支撑件时也同样可以。

尺寸统一，选择项、产品种类丰富，系统构成应对简便。

通过变更滑键的组装方向，可任意从锁定型变更为非锁定型。

CKD减压阀结构与分类