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SMC高真空阀,SMC电磁阀,日本SMC

SMC高真空阀,SMC电磁阀,日本SMC

型    号: VQ5150-5G1
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SMC高真空阀,SMC电磁阀,日本SMC
在半导体制造过程中,腐蚀装置、喷镀装置,离子注入装置和CVD装置等许多部分,都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理,该真空
室供气、排气(真空)用阀,要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁净规格。

VQ5150-5G1SMC高真空阀,SMC电磁阀,日本SMC的详细资料:

SMC高真空阀,SMC电磁阀,日本SMC
两种常见连接形式:

活套法兰连接
这是阀门中用得多的连接形式。按结合面形状又可分为以下几种:
1)光滑式:用于压力不高的阀门。加工比较方便。
2)凹凸式:工作压力较高,可使用中硬垫圈。
3)榫槽式:可用塑性变形较大的垫圈,在腐蚀性介质中使用较广泛,密封效果较好。
4)梯形槽式:用椭圆形金属环作垫圈,使用于工作压力≥64公斤/平方厘米的阀门,或高温阀门。
5)透镜式:垫圈是透镜形状,用金属制作。用于工作压力≥100公斤/平方厘米的高压阀门,或高温阀门。
6)O形圈式:这是一种较新的法兰连接形式,它是随着各种橡胶O形圈的出现,而发展起来的,它在密封效果上比一般平垫圈可靠。

产品样本:


螺纹连接
这是一种简便的连接方法,常用于小阀门。又分两种情况:
1)直接密封:内外螺纹直接起密封作用。为了确保连接处不漏,往往用铅油、线麻和聚四氟乙烯生料带填充;其中聚四氟乙烯生料带,使用日见广泛;这种材料耐腐蚀很好,密封效果,使用和保存方便,拆卸时,可以完整地将其取下,因为它是一层无粘性的薄膜,比铅油、线麻得多。
2)间接密封:螺纹旋紧的力量,传递给两平面间的垫圈,让垫圈起密封作用。
小型&大容量
  设置容积减少42%、设置面积减少26%
  VQ4000可驱动缸径为Φ160的气缸
  VQ5000可驱动缸径为Φ180的气缸
●省电 消耗电力:0.4W(低功率型)
●寿命长:1亿次(根据本公司条件)

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