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OMRON漏液传感器型号及解析

简要描述:OMRON漏液传感器型号及解析
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式

  • 产品型号:F03-16PS
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-12-24
  • 访  问  量:1413

详细介绍

OMRON漏液传感器型号及解析

动作形态 入音时:输出单元(NO/NC)切换  
超声波振荡频率 约200KHZ
应答频率 * 4  50HZ 10HZ 50HZ 20HZ
显示灯 入音显示(SENSENG):红色 稳定显示(STABILITY):绿色
音速补偿 无
环境温度范围 -10—+550C(不结冰)  
环境湿度范围 35—95%RH
温度的影响 -10—+550C的温度范围内200C时的检测距离的±10%
电压的影响 额定电源电压±10%的范围内额定电源电压的检测距离±5%以下
缘电阻 20MΩ以上(DC500V兆欧表)充电部与外壳间
耐电压 AC1,000V 50/60Hz 1min充电部与外壳间
振动(耐久) 10—55Hz 上下振幅1.5mm X Y Z各方向2h
冲击(耐久) 500m/s2 X Y Z各方向3次
保护构造 IEC规格IP66[JEM规格IP66(耐水性)]
连接方式 导线引出型(标准导线长为2m)
(捆包状态) 约600g(送、受波器一组)  约300g
附件 金属安装配件 安装说明书
*1.在0—450C环境温度可能使用的检测距离。
*2.接收信号为-6dB时的指向角(半功率角)。
*3.表示机器的外皮(外壳)保护的程度,为满足的使用条件而不同。

传感器外壳采用不锈钢(SUS316L),并以欧姆龙的“不同材质激光熔接技术"提高了不锈钢和树脂的附着力和密封性。

工件的形状、颜色、光泽等发生变化时,必须选择不同传感器并重新设计设备。

但若采用E3AS-HL,则不易受到复杂形状、颜色和光泽的影响,实现稳定检测,从而减少重新设计所需的工时。

对于难检工件或长距离检测,虽然可以使用回归反射型传感器,但随着设备日益、复杂,安装空间受到限制,需要花费工时进行设计。若采用E3AS-HL,则无需反射板。

量产运行期间,现场环境因素引发传感器误动作,进而导致线停机的情况时有发生,恢复运行需要耗费工时。 E3AS-HL则通过增强耐环境性,降低停机频率,提高运行效率。

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