OMRON漏液传感器型号及解析

产品简介
OMRON漏液传感器型号及解析
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式

Name: OMRON漏液传感器型号及解析F03-16PS
Brand: 欧姆龙/OMRON
Availability: InStock

产品型号：F03-16PS

更新时间：2025-12-24

厂商性质：经销商

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OMRON漏液传感器型号及解析

动作形态入音时：输出单元（NO/NC）切换
超声波振荡频率约200KHZ
应答频率 * 4 50HZ 10HZ 50HZ 20HZ
显示灯入音显示（SENSENG）：红色稳定显示（STABILITY）：绿色
音速补偿无
环境温度范围 -10—+550C（不结冰）
环境湿度范围 35—95%RH
温度的影响 -10—+550C的温度范围内200C时的检测距离的±10%
电压的影响额定电源电压±10%的范围内额定电源电压的检测距离±5%以下
缘电阻 20MΩ以上（DC500V兆欧表）充电部与外壳间
耐电压 AC1，000V 50/60Hz 1min充电部与外壳间
振动（耐久） 10—55Hz 上下振幅1.5mm X Y Z各方向2h
冲击（耐久） 500m/s2 X Y Z各方向3次
保护构造 IEC规格IP66[JEM规格IP66（耐水性）]
连接方式导线引出型（标准导线长为2m）
（捆包状态）约600g（送、受波器一组）约300g
附件金属安装配件安装说明书
*1.在0—450C环境温度可能使用的检测距离。
*2.接收信号为-6dB时的指向角（半功率角）。
*3.表示机器的外皮（外壳）保护的程度，为满足的使用条件而不同。

传感器外壳采用不锈钢（SUS316L），并以欧姆龙的“不同材质激光熔接技术"提高了不锈钢和树脂的附着力和密封性。

工件的形状、颜色、光泽等发生变化时，必须选择不同传感器并重新设计设备。

但若采用E3AS-HL，则不易受到复杂形状、颜色和光泽的影响，实现稳定检测，从而减少重新设计所需的工时。

对于难检工件或长距离检测，虽然可以使用回归反射型传感器，但随着设备日益、复杂，安装空间受到限制，需要花费工时进行设计。若采用E3AS-HL，则无需反射板。

量产运行期间，现场环境因素引发传感器误动作，进而导致线停机的情况时有发生，恢复运行需要耗费工时。 E3AS-HL则通过增强耐环境性，降低停机频率，提高运行效率。

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