
详细介绍
喜开理过滤减压阀分类及参数
通过变更滑键的组装方向,可任意从锁定型变更为非锁定型。
可与真空过滤器VFA3000或VFA4000进行模块化连接。
采用基于喷嘴挡板的先导压力控制方式。
采用禁油规格•不锈钢阀体,适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外,由于紧凑•大流量,因此适合空气(N2)吹气。
实施清洗(气体接触部分),在洁净室内进行从组装到包装的。
因主阀芯与阀孔配合过紧,或装配时拉毛阀孔或阀芯,将阀芯卡死在开度位置上,此时可选配合理的间隙。J型减压阀配合间隙一般为0. 007~0. 015mm,配前可适当研磨阀孔,再配阀芯。
主阀芯短阻尼孔或阀座孔堵塞,失去了自动调节机能,主阀弹簧力将主阀推往开度,变成直通无阻,进口压力等于出口压力。可用φ1. Omm钢丝或用压缩空气吹通阻尼孔,并进行清洗再装配。
带阻尼孔的阻尼件是压入主阀芯内的,使用中有可能因过盈量不够而冲出。冲出后,使进油腔与出油腔压力相等(无阻尼),而阀芯上下受力面积相等,但出油腔有一弹簧,所以主阀芯总是处于开度的位置,使出口压力等于入口压力。此时需重新加工外径稍大的阻尼件并重新压入主阀芯。
对边50mm的紧凑尺寸,并实现了0.8㎥/min的大流量。
(1次压力0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量)
无润滑脂规格、紧凑、省空间型的小型直动减压阀。
通过使用快插接头,提高了操作性。适用于要求省空间、精度、无润滑脂的半导体制造的后工序、IT领域、小物件装配等。
喜开理过滤减压阀分类及参数
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