PARKER减压阀作用与功能

PARKER减压阀作用与功能

派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）的性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，这样大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.

SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合，使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250.

SMSQ2Micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.

主体尺寸:surface mount: 1-1/8"

流体容量(Cv):0.06

压力范围（psig):30 psig

流经油雾器的空气有两条路径。在低流量时，大部分空气流经文 圆形视窗套件，（新） PS740N

丘里管(A)。其余空气将打开止回阀(C)。穿过文丘里管(A)的空气流

速产生压降。较低的压力使油从储油器中通过吸油管(B)压入并向

上流到调节旋钮(D)。通过调节旋钮(D)来控制供油率。油流过调节

旋钮D)，并在喷嘴管(E)中形成油滴。当油滴通过圆顶(F)并返回到

文丘里管(A)时，它会分离成很小的粒子。它与流过止回阀(C)的空

气混合并被带到下游。随着空气流量的增加，止回阀(C)将更充分

地打开。此增加的流量将确保输油率将随着空气流量的增加而线性增加。

端口类型:C-Seal

阀体材料:洁净316L不锈钢

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.

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