关于CKD电磁阀测定方法及测定条件

更新时间：2016-04-15

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测定方法：

①在防静电的室内(丙烯树脂制、不锈钢制)设置气缸

②提供与颗粒计数器吸入量（28.3/min）相同流量的洁净空气（0.1μm过滤器）

③在不动作状态，确认颗粒计数器的值为“0”

④使气缸动作,测量动作中产生的颗粒

※使用带密封的测试室,以确保除气缸发尘外,其他的颗粒不进入室内

测定条件：

空气

气缸驱动用：「等2.2.1」（JISB8392－1）

净化用：「等2.2.1」＋0.1μｍ气体过滤器

气缸供应压力：0.5MPa

气缸动作速度：一般速度（200mm/s）

动作条件：无负荷、水平设置（与净化流量平行）

对排气处理型的溢流气口配管，排放到测试室外

对真空除尘型的真空除尘气口配管，进行真空除尘（－26KPa）

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